电容式测微器工作原理及结构图
电容式测微器工作原理及结构图

利用电容效应，当对象至传感器间之距离改变时，即会改变电容值，应用此一原理可撷取待测对象细微几何形状之尺寸。由于电容效应存在于各个物质间，因此在传感器的设计上必需考虑到噪声防治的保护措施，如图(a)所示之结构图在传感器外围加上两层封装以杜绝外界干扰，图(b)则为传感器的等效电路图。电容式测微器由于利用电容效应因此分辨率相当高，一般电容式传感器的量测范围为±0.13mm，分辨率为0.1μm，精确度则为全刻度之0.1-0.2%，同时电容式测微器为非接触式量测，因此理论上寿命为无限长。



(a)电容式测微器结构封装示意图



(b)电容式测微器等效电路图